محصولات تبخیر شرکت BROOKS INSTRUMENT
فناوری پیشرفته تبخیر، تولید بخار خالصتر و کارآمدتر را امکانپذیر میکند.
بسیاری از فرآیندهای صنعتی و نیمههادی نیاز به تبدیل مایعات از جمله آب و سایر پیشسازهای مایع به بخارهای بسیار کنترلشده و خالص دارند.
تبخیر یک انتقال فاز از فاز مایع به فاز گاز است. بنابراین یک بخارساز، هر سیستمی است که یک ماده مایع را به حالت گازی تبدیل میکند. در حالی که تبخیر به روشهای مختلفی انجام میشود، همه بخارسازهای مدرن - مانند بخارسازهای آب - چندین ویژگی مشترک دارند:
- افزایش دما و/یا کاهش فشار محیط مایع
- سیستمهای محصور برای جذب و کنترل جریان بخار
- استفاده از سیستم حلقه بازخورد و کنترل برای تنظیم سرعت تبخیر
کاربردهای کلیدی
- کاربردهای کلیدی
- تبخیر/رطوبتسازی آب
- رسوب شیمیایی بخار
- رسوبگذاری لایههای نازک برای بهبود ویژگیهای حرارتی، نوری یا سختی
- تبخیر مونومرها برای ایجاد لایه پلیمری در خلاء
- تولید بخار کالیبراسیون
- تبخیر هیدروکربنهای مایع
ماژول تحویل بخار
- تجهیزات حکاکی پلاسما و نوار فتورزیست برای انتقال بخار
- کاربردهای بخار آب UHP DI
- فقط محفظههای فرآیند زیر اتمسفر
نوع محصول
- ماژول تحویل بخار آب DI
متمایزکننده
- تحویل بخار DIW با خلوص بالا
- بالاترین دقت جریان
- طراحی جمع و جور
- ارتباطات دیجیتال EtherCAT
- رابط کاربری بهبود یافته
روش تبخیر
- خروج بخار
نوع سیال
- آب DI
حداکثر ظرفیت بخار
- 3000 sccm (آب DI)
حداکثر فشار
- 200 Torr
